主要用途：該系統(tǒng)廣泛用于各種反應(yīng)溫度在1100℃左右的CVD實(shí)驗(yàn)，真空燒結(jié)、真空氣氛保護(hù)燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備等多研究領(lǐng)域。

產(chǎn)品介紹：

JCF-31200型CVD管式爐由管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成 ，最高溫度可以達(dá)到1200度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì)，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。

JCF-31200管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表，能進(jìn)行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用日本進(jìn)口氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。

應(yīng)用范圍：

JCF-31200型CVD爐是一種特殊的CVD系統(tǒng)，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品。

規(guī)格參數(shù)：

高溫爐殼體,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使得殼體表面溫度小于55℃，內(nèi)爐膛表面涂有1750℃進(jìn)口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度 

功率 2.5 KW

電壓 AC 208-240V 單相, 50/60 Hz 

加熱元件 含鉬電阻絲（表面涂有氧化鋯涂層，使其******程度延長使用壽命）

最高工作溫度 1200℃

連續(xù)工作溫度 1100℃

最快升溫速率 <= 20℃/min

爐管材質(zhì)和尺寸 石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm 

加熱區(qū)長度 200mm*3

恒溫區(qū)長度 100mm*3

控溫系統(tǒng) PID30段程序化控溫

控溫精度 +/-1℃

真空密封系統(tǒng) 兩個(gè)不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計(jì)和截止閥）

真空泵 采用雙旋機(jī)械泵，機(jī)械泵上安裝有油污過濾器，可以過濾真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的油煙，減少泵油的損耗，保護(hù)環(huán)境和人體健康，過濾的最小微粒直徑為0.3微米。

數(shù)字式真空顯示計(jì)   進(jìn)口CVM-211數(shù)顯真空計(jì),已安裝在不銹鋼法蘭上，測量范圍為10-4Torr~1000Torr 

混氣系統(tǒng) 三個(gè)浮子流量計(jì)(準(zhǔn)確率4%FS)

三路浮子量程分別為

10-100 cc/min.

16-160 cc/min.

25-250 cc/min

內(nèi)部安裝有一混氣罐 

尺寸 爐體尺寸: 550 x 380 x 520mm

混氣系統(tǒng)尺寸: 600x600x597 mm

凈重 60kg

標(biāo)準(zhǔn)配件：

浮子混氣系統(tǒng)1臺(tái)、雙旋機(jī)械泵1臺(tái)、K型熱電偶1支、氣煉石英爐管1根、不銹鋼法蘭1套、不銹鋼爐鉤1、剛玉爐塞2對、高溫手套1副、剛玉坩堝2個(gè)、說明書1份